超微粉無法由機械粉碎得到,只能通過其組成質點的凝聚成核和晶核生長來製備。超微粉體的製備方法按組成質點的產生途徑,可分為氣相法、液相法和固相法。氣相法按組成質點產生方式可以分為蒸發凝聚法和氣相反應法。蒸發凝聚法是以物態變化為基礎的,工藝是將原料用電阻爐、高頻感應爐、電弧或電漿加熱氣化,然後急速冷卻,以凝聚產生超微細粉。