莊惠照

莊惠照，女，出生於1954年，副教授，副研究員，微電子學與固體電子學碩士研究生導師，從事半導體物理與器件的研究開發、研究生教學及培養等工作，在本研究領域內具有系統紮實的理論基礎和專業知識，多年以來辛勤耕耘、教書育人。為首獲得山東省科技進步二等獎1項，為主要研究人員獲得山東省科技進步一等獎2項。山東省發明一等獎二項，電子工業部"八五" 科技攻關重大成果獎1項。為首獲獲發明專利權1項，為主要研究人員獲得發明專利權2項。發表論文多篇。 目前為首承擔山東省教委項目1項，為主要研究人員承擔國家自然科學基金重大項目專題1項，國家自然科學基金自由申請項目1項。主要研究方向為半導體物理與器件，薄膜物理與技術以及納米電子材料與技術。

基本介紹

• 中文名：莊惠照
• 國籍：中國
• 出生日期：1954年
• 性別：女

科學研究

1990年至1995年承擔完成國家“八五”攻關項目《超大規模積體電路封裝技術研究》，子專題《85－705－04－01VLSI矽片背面金屬化研究》,1995年通過國家級鑑定，1996年獲重大成果獎（首位）。

1992年至1995年承擔完成省科委《大台面電力半導體玻璃鈍化技術研究》項目，1995年通過省級鑑定，1997年獲山東省科技進步二等獎（首位）。

1997年至2000年承擔完成《高氣密四十線VLSI玻璃陶瓷熔封技術研究》項目（首位），2002年通過省級鑑定。

2001年至2004年承擔完成省教委《複合納米鈍化保護材料新研究》項目（首位），2006年通過省級鑑定。