脈衝電子束沉積系統

脈衝電子束沉積系統是一種用於數學領域的分析儀器，於2010年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：脈衝電子束沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2010年1月1日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

真空度10-5Pa，脈衝電子束能量0kV-18KV，脈衝頻率1-30Hz，基片溫度最高達800 oC。

主要功能

脈衝電子束沉積系統，沉積氧化物、氮化物等薄膜。