脈衝雷射氣相沉積系統是一種用於材料科學、機械工程領域的計量儀器，於2014年12月01日啟用。
基本介紹
- 中文名：脈衝雷射氣相沉積系統
- 產地：美國
- 學科領域：材料科學、機械工程
- 啟用日期：2014年12月01日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,
技術指標
真空腔的配置：包括氣相沉積腔和預真空腔；氣相沉積腔的腔體直徑為18”，並配有多個6”連線埠以利於系統升級；所有真空腔均採用渦輪分子泵與無油機械泵。氣相沉積腔配有外置烘烤配件。；；真空度：氣相沉積腔本底真空度在10-9Torr數量級；預真空腔本底真空度至少能達到10-6Torr數量級。
主要功能
主要用於製備化學成分複雜的高品質氧化物納米材料（涵蓋零維、一維與二維納米材料樣品）的製備.。
