《聚矽烷準分子雷射化學反應研究》是依託四川大學，由付鶴鑒擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：聚矽烷準分子雷射化學反應研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：付鶴鑒
- 依託單位：四川大學
- 批准號：29273116
- 申請代碼：B0306
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：1993-01-01 至 1995-12-31
- 支持經費：4（萬元）
項目摘要
改善聚矽烷單體及聚合物合成條件,大幅度提高合成產率,縮短反應時間,聚矽烷產品為樹脂狀固體,經熱分析在300℃前不失重,Tg在80℃左右,可用作高分辨光致抗蝕劑.對不同溶劑同一聚矽烷溶液及同一溶劑不同聚矽烷溶液的準分子雷射化學反應研究表明,聚矽烷的結構和螢光猝滅作用對聚矽烷的雷射降解量子產額有較大影響.聚矽烷膜的準分子雷射化學反應研究及光刻試驗表明減少光刻輻照脈衝數和入射劑量是實現亞微米光刻和好的圖像轉換質量的關鍵,應從聚矽烷的螢光猝滅和改變聚矽烷結構二方向努力.目前 在入射劑量近100(mJ/cm(2)·pulse)條件下1-3脈衝實現了亞微米圖像轉換,最小線寬0.53μm(2).發現了矽片上聚矽烷膜經O2-RIE轉化所成二氧化矽膜C-V曲線改善新現象.
