聚烴類樹脂

聚烴類樹脂是指天然橡膠或聚異戊二烯合成橡膠在催化劑作用下，部分環化而製成的。一般說來,橡膠具有較好的耐腐蝕性，但是它的感光活性很差。橡膠的分子量在數十萬以上,因而溶解性甚低，無論在光致抗蝕劑的配製或顯影過程中都會造成很大困難。因此，直接採用橡膠為原料配製光致抗蝕劑是不適宜的。

交聯劑又稱作架橋劑，是聚烴類光致抗蝕劑的重要組成部分，這種光致抗蝕劑的光化學固化作用，依賴於帶有雙感光性官能團的交聯劑參加反應，交聯劑曝光後產生雙自由基，它和聚烴類樹脂相作用，在聚合物分子鏈之間形成橋鍵，變為三維結構的不溶性物質。