總厚度變化

總厚度變化

總厚度變化是2011年公布的材料科學技術名詞。

中文名稱總厚度變化
英文名稱total thickness variation,TTV
定  義在厚度掃描或一系列點的厚度測量中,所測晶片的最大厚度與最小厚度的絕對差值。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)

基本介紹

  • 中文名:總厚度變化
  • 外文名:total thickness variation,TTV
  • 所屬學科:材料科學技術 
  • 公布年度:2011年
定義,出處,

定義

在厚度掃描或一系列點的厚度測量中,所測晶片的最大厚度與最小厚度的絕對差值。

出處

《材料科學技術名詞》。

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