絕對光波干涉儀

絕對光波干涉儀,利用光波干涉的原理,以單色光(標準光波)波長來鑑定精密量塊的高精度儀器。利用下列兩種方法進行測量:(1)比較法,根據與標準量塊的比較來測定被測量塊的長度;(2)絕對法,可直接測出量塊的長度、測量面的平面度和平行度。

基本介紹

  • 中文名:絕對光波干涉儀
  • 外文名:absolute interferometer
  • 類別:儀器設備
  • 原理:光波干涉

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