紫外光刻機及控制軟體

紫外光刻機及控制軟體是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年1月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：紫外光刻機及控制軟體
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年1月9日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 化工、製藥工藝實驗設備

技術指標

1.曝光類型：單面；2.曝光面積：≥φ115mm；3.曝光不均勻性：≤±2.9%；4.曝光強度：≥20mw/cm2，365nm波長純淨，照明面溫度＜35℃；5.分辨力：1.0μm（膠厚2μm的正膠）。

主要功能

用於維納電極的線條的製作。