純氬

純氬是一種化學物質。

基本介紹

• 中文名：純氬
• 類型：化學物質
• 用途：用於電子工業中半導體鍺、矽等的精煉和單晶矽的製備

純氬（pure argon）純度為99.9%，高純氬純度為99.999%。塵埃(Φ≥0.5μm)≤3.5粒/L。氬是空氣中含量最多的一種稀有氣體。無色、無臭、不助燃、無毒。純氬可用低溫精餾法製取。純氬經銅爐高溫除氧，矽膠乾燥除水，再經除氮塔進一步精餾除氮，便得99.999%的高純氬。純氬可配製特種混合氣和工業混合氣如電光源混合氣等。高純氬作為保護氣和運載氣主要用於電子工業中半導體鍺、矽等的精煉和單晶矽的製備。