光譜儀的主要技術指標及技術關鍵包括檢出限、靈敏度、分析精度、測量的穩定性、校準方法等。
光譜儀使用的氬氣純度要求≥99.996%,其純度不夠的氬氣將導致以下後果：
1．校正係數超出要求範圍，標準化係數偏高。
2．激發光源不激發及跳閘。
3．激發時擴散放電，激發點呈白色（白點），強度降低，樣品表面無侵蝕，分析數據不準確。
4．分析數據不穩定，特別是分析波長較低的元素如：C、P、S等，還有一些高合金鑄件、鑄鋁、鑄鐵、純金屬等。
如果出現了以上問題，再好的光譜儀也是分析不出一個準確的數據。所以，想要光譜儀分析出一個準確的數據，前提就是要給光譜儀提供良好的氣源，即含量≥99.996%的氬氣。而通過氬氣淨化機輸出的氬氣含量≥99.9999%.遠高於光譜的供氬要求。
經濟核算：以氬氣淨化機在光譜儀器中的套用舉例說，光譜儀使用過程中最大的消耗品就是氬氣，使用氬氣淨化機可以把價格昂貴（市場平均價240元/瓶）的高純氬或液態氬換成價格低廉（市場價平均價40元/瓶）的普通純氬就可以達到光譜要求的氬氣純度99.996%。以每天使用光譜儀8小時（3天換1瓶），1年開機350天，如光譜儀使用10年計算，節省的氬氣費用約23萬元。
350/3 X（240-40）X 10 ≈ 23.33 (萬元)
