納米糰簇系統

納米糰簇系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2018年4月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米糰簇系統
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年4月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

Pumping:1250ls-1turboseparatescrollbackingpump；Basepressure:5x10-10mbar24hrsafterbakeout。

主要功能

多室沉積鍍膜。