納米糰簇沉積系統

納米糰簇沉積系統是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2012年08月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米糰簇沉積系統
• 產地：英國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2012年08月01日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

納米糰簇源：1-20nm。

主要功能

具備納米糰簇模組和磁控濺射模組功能。