納米精度多自由度運動系統關鍵技術及其套用

《納米精度多自由度運動系統關鍵技術及其套用》，是依託於華中科技大學等單位，由陳學東等人完成的科研項目。

基本介紹

• 中文名：納米精度多自由度運動系統關鍵技術及其套用
• 完成人：陳學東等
• 獲獎情況：國家技術發明獎二等獎
• 依託單位：華中科技大學等

參與情況

主要完成人：

陳學東(華中科技大學)，

袁志揚(上海微電子裝備有限公司)，

周雲飛(華中科技大學)，

池 峰(上海微電子裝備有限公司)，

胡元太(華中科技大學)，

劉 贇(上海微電子裝備有限公司)

獲獎記錄

2012年度國家技術發明獎二等獎。