《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究》是2009年黑龍江大學出版社出版的圖書，作者是趙曉鋒。
基本介紹
- 書名：《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究》
- ISBN：9787811291261
- 出版社：黑龍江大學出版社
- 出版時間：2009-08-01
基本信息,內容簡介,作者簡介,圖書目錄,
基本信息
作 者：趙曉鋒 著
叢 書 名： 冷配線上
ISBN：9787811291261
出版時間：2009-08-01
版 次：1
頁 數：246
裝 幀：平裝
開 本：大32開
內容簡介
《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究》在溫殿忠教授提出的JFET壓/磁電效應基本理論基礎上，給出MOSFETs壓/磁多功能感測器在外加壓力P≠O、外加磁場B=O；外加壓力P≠O、外加磁場B=O；外加壓力P≠O、外加磁場8≠O；外加壓力P≠O、外加磁場B≠O四種情況下的基本理論分析。採用CMOS工藝和MEMS技術設計、製作以納米矽/單晶矽異質結為源極（S）和漏極（D）的MOSFETs壓/磁多功能感測器。《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究》設計、製作的納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器能夠完成壓力和磁場的檢測，具有良好的壓敏特性和磁敏特性，可實現壓/磁檢測的集成化和一體化，對感測器的小型化、多功能化、集成化和一體化發展具有重要意義。
作者簡介
趙曉鋒，男，黑龍江省蘭西縣人，工學博士，黑龍江大學電子工程學院副教授，碩士研究生導師。參加國家自然科學基金項目1項，承擔黑龍江省教育廳項目1項，承擔並完成黑龍江省電子工程重點實驗室項目、黑龍江大學青年科學基金項目、黑龍江大學教改項目各1項。在SCl、El等學術期刊上發表學術論文14篇，參加主編教材1部，申請發明專利1項。
圖書目錄
第1章 緒論
1.1 引言
1.2 多功能感測器研究現狀
1.3 MOSFET壓力感測器研究現狀
1.4 MOSFET磁感測器研究現狀
1.5 納米矽/單晶矽異質結研究現狀
1.6 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究目的和意義
1.7 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器研究的主要內容
第2章 納米矽薄膜製備及表征研究
2.1 納米矽薄膜
2.2 PECVD製備多晶矽薄膜
2.3 LPCVD製備納米矽薄膜
2.4 小結
第3章 MOSFETs壓/磁多功能感測器理論分析
3.1 MOSFETs壓/磁多功能感測器理論模型
3.2 MOSFETs壓/磁多功能感測器理論分析
3.3 小結
第4章 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器壓敏結構設計和電源激勵方式
4.1 半導體材料壓阻效應基本理論
4.2 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器壓敏結構設計
4.3 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器壓敏結構電源激勵方式
4.4 小結
第5章 納米石圭/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器磁敏結構設計和工作原理
5.1 霍爾效應
5.2 納米矽/單晶矽異質結p—MOSFET Hall器件基本結構及工作原理
5.3 納米矽/單晶矽異質結P—MOSFET Hall器件串聯輸出結構及工作原理
5.4 小結
第6章 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器基本結構與製作工藝
6.1 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器基本結構
6.2 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器製作工藝
6.3 小結
第7章 實驗結果與討論
7.1 納米多晶矽薄膜壓阻特性
7.2 納米矽/單晶矽異質結p-MOSFET特性
7.3 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器壓敏特性
7.4 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器磁敏特性
7.5 納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能感測器壓/磁特性
7.6 小結
第8章 結論
參考文獻
