納米尺度幾何量和機械量測量技術

內容簡介

納米科學與技術是近年來在全球範圍內廣受重視的一門飛速發展的新興學科，而納米測量學與納米材料學、納米電子學、納米生物學、納米機械學和納米光學一樣，已經成為納米科學與技術的重要研究方向之一。本書在總結作者科研工作的基礎上，較全面地對納米尺度線寬(CD)測量，納米尺度邊緣粗糙度(LER)測量，納米尺度微力、楊氏模量和剛度測量以及微納尺度固液界面邊界條件測量進行了論述。書中多為作者多年從事納米測量相關研究的科研成果、實踐經驗與心得體會。

本書對從事該領域研究工作的科研人員具有一定的借鑑意義。

圖書目錄

第1章納米尺度線寬（CD）測量

1.1概述

1.1.1納米尺度線寬（CD）測量研究的套用背景

1.1.2Nano1線寬測量國際比對項目

1.1.3常用的線寬測量技術和方法簡介

1.1.4納米線寬（CD）測量的研究現狀

1.1.5目前線寬測量工具存在的缺點與不足

1.2原子力顯微鏡AFM及其線上寬測量中的套用

1.2.1原子力顯微鏡概述

1.2.2AFM線上寬測量中的套用

1.2.3原子力顯微鏡的最新發展

1.3線寬的測量模型與算法

1.3.1基於最小二乘法原理的測量模型

1.3.2基於最小二乘模型的測量結果分析

1.3.3使用不同探針測量結果的比較

1.4掃描圖像數據的分析及誤差修正

1.4.1探針膨脹作用的消除

1.4.2掃描圖像的濾波去噪

1.4.3樣本傾斜位置的修正

1.5線寬測量誤差及不確定度分析

1.5.1不確定度的估計與合成

1.5.2線寬的計算及誤差修正

1.5.3線寬測量的不確定度分析

1.5.4實驗與不確定度值的估算

1.6雙圖像拼接法的研究

1.6.1雙圖像拼接法的提出

1.6.2剛體的空間位置變換

1.6.3掃描圖像的匹配

1.6.4圖像的插值和擬合

1.6.5實驗與結果分析

參考文獻

第2章納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量

2.1概述

2.1.1納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量的研究背景

2.1.2線邊緣粗糙度的研究內容及其發展

2.1.3線邊緣粗糙度測量技術的研究現狀

2.1.4線邊緣粗糙度測量的關鍵問題分析

2.2線邊緣粗糙度的定義及其表征參數的研究

2.2.1線邊緣粗糙度測量的需求分析

2.2.2線邊緣粗糙度的定義研究

2.2.3線邊緣粗糙度的表征參數

2.3基於AFM的線邊緣粗糙度測量模型

納米尺度幾何量和機械量測量技術

基本介紹

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