《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）是2021年6月1日實施的一項中華人民共和國國家標準，歸口於全國量具量儀標準化技術委員會。
《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）規定了微納米標準樣板（幾何量）的術語和定義、型式與基本參數、要求、檢查條件、檢查方法、標誌、運輸及儲存等。該標準適用於線間隔為0.05um～10um的微納米線間隔標準樣板、台階高度為0.01um～100um的微納米台階高度標準樣板、薄膜厚度為2mm～1000nm的納米膜厚標準樣板和線寬為25nm～1000nm的納米線寬標準樣板。
基本介紹
- 中文名：微納米標準樣板（幾何量）
- 外文名：Micro nano standard samples（geometric）
- 標準號：GB/T 39516-2020
- 標準類別：產品
- 發布日期：2020-11-19
- 實施日期：2021-06-01
- 中國標準分類號：J42
- 國際標準分類號：17.040.30
- 歸口單位：全國量具量儀標準化技術委員會
- 執行單位：全國量具量儀標準化技術委員會
- 主管部門：中國機械工業聯合會
- 性質：推薦性國家標準
- 狀態：現行
制定過程,制定背景,編制進程,制定依據,起草工作,標準目次,內容範圍,引用檔案,意義價值,
制定過程
制定背景
隨著微納米領域的快速發展，1997年9月國際計量委員會長度諮詢委員會（CIPM/CCL）確定了在幾何度量領域的幾個關鍵特徵的比對，分別為線寬標準樣板（Nano1），台階高度標準樣板（Nano2），線標度標準樣板（Nano3），一維光柵標準樣板（Nano4），二維光柵標準樣板（Nano5）。
在質量體系中，為了實現量值的統一與標準化，保證幾何量值傳遞的準確性與溯源性，越來越多的微納米標準樣板被用於測量儀器的校準與溯源性的工作中。國家計量檢定規程/規範《掃描電子顯微鏡檢定規程》（JJG 550-1988）和《掃描探針顯微鏡校準規範》（JJF 1351-2012）中明確規定使用納米線間隔樣板對顯微鏡的示值誤差進行比對計量。截止2019年，中國國內無標可循、選用產品無依據、市場混亂、給儀器使用單位的校對帶來很大的困擾，並嚴重製約著產業的發展。因此，制定了《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）。
編制進程
- 標準計畫
2018年12月29日，國家標準計畫《微納米標準樣板（幾何量）》（20184173-T-604）下達，項目周期24個月，由中國機械工業聯合會提出，由TC132（全國量具量儀標準化技術委員會）歸口上報及執行，主管部門為中國機械工業聯合會。
- 發布實施
2020年11月19日，國家標準《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）由中華人民共和國國家市場監督管理總局、中華人民共和國國家標準化管理委員會發布。
2021年6月1日，國家標準《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）實施。
制定依據
國家標準《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）依據中國國家標準《標準化工作導則—第1部分：標準的結構和編寫》（GB/T 1.1-2009）規則起草。
起草工作
主要起草單位：中國電子科技集團公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、廣西壯族自治區計量檢測研究院、中國計量科學研究院、上海市計量測試技術研究院、中國計量大學、珠海市怡信測量科技有限公司。
主要起草人：李鎖印、付興昌、梁法國、韓志國、趙琳、馮亞南、許曉青、張曉東、姜志剛、許剛、蘇翼雄、張恆、雷李華、趙軍、張松濤、蔡瀟雨、傅雲霞。
標準目次
前言 | Ⅲ |
|---|---|
1範圍 | 1 |
2規範性引用檔案 | 1 |
3術語和定義 | 1 |
4型式與基本參數 | 3 |
5要求 | 5 |
6檢查條件 | 7 |
7檢查方法 | 7 |
8標誌、運輸及儲存 | 15 |
參考資料：
內容範圍
《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）規定了微納米標準樣板（幾何量）的術語和定義、型式與基本參數、要求、檢查條件、檢查方法、標誌、運輸及儲存等。該標準適用於線間隔為0.05um～10um的微納米線間隔標準樣板、台階高度為0.01um～100um的微納米台階高度標準樣板、薄膜厚度為2mm～1000nm的納米膜厚標準樣板和線寬為25nm～1000nm的納米線寬標準樣板。
引用檔案
GB/T 17163-2008 幾何量測量器具術語—基本術語 | GB/T 25915.1-2010 潔淨室及相關受控環境—第1部分：空氣潔淨度等級 |
參考資料：
意義價值
《微納米標準樣板（幾何量）》（GB/T 39516-2020）對規範產品市場無序競爭，保證產品質量，滿足市場需求，推進產業結構的完整及最佳化，為產品的生產、銷售、使用等環節提供強有力的技術支撐，有利於促進中國微納米技術健康、有序的發展，推動納米製造業和精密加工等產業的穩步發展和技術進步。
