納米圖像電子束曝光系統

納米圖像電子束曝光系統是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2014年12月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米圖像電子束曝光系統
• 產地：捷克
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2014年12月23日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 圓二色光譜儀

技術指標

解析度：1 nm 元素分析範圍：Be (4) －Am (95)。

主要功能

表面形貌成像，元素含量半定量分析，納米圖像電子束曝光。