礦物電子探針顯微分析法

礦物電子探針顯微分析法是用電子探針顯微分析技術測定礦物化學成分的物理方法。以聚焦電子束為激發源，轟擊礦物表面時，電子與礦物表面的原子發生複雜的電子吸收、反射、透過等作用，這些作用以及其互動作用又可以產生X射線、二次電子、俄歇電子等信息。此法利用這些信息進行組合分析。

通常有波長分光法和能量色散法，前者是用晶體衍射來測定X射線的波長以確定被測物組成元素的種類和數量，亦稱波譜分析;後者則是依據不同元素的同一線系的特徵X射線，不僅波長不同，且能量也不同，由激發區產生的元素特徵X射線被能譜探頭接收，根據峰值能量數值亦可查出對應的元素，亦稱能譜分析;前者具有半定量一定量的功能，後者只能作定性分析。由於此種方法具有快捷，樣品基本無損傷，已成為類質同象礦物和新、雜、微、細礦物研究所不可缺乏的手段。70年代以來，我國新發現，並獲國際承認的60多種新礦物中，有一半多是經電子探針發現和研究過的。電子探針在岩石學、隕石、礦物藥物及寶石研究中均起著重要作用。電子探針分析將向電子束更精細、定量精度提高等萬面發展。