碳化矽單晶拋光片

《碳化矽單晶拋光片》是2015年9月1日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

  • 中文名:碳化矽單晶拋光片
  • 外文名:Polished monocrystalline silicon carbide wafers
  • 標準類別:產品
  • 標準號:GB/T 30656-2014
編制進程,起草工作,

編制進程

2014年12月31日,《碳化矽單晶拋光片》發布。
2015年9月1日,《碳化矽單晶拋光片》實施。

起草工作

主要起草單位:北京天科合達藍光半導體有限公司、中國科學院物理研究所。
主要起草人:陳小龍、鄭紅軍、張瑋、郭鈺、劉春俊、劉振洲。

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