碳化矽單晶拋光片表面粗糙度的測試方法

《碳化矽單晶拋光片表面粗糙度的測試方法》是2015年10月1日實施的行業標準。

基本介紹

• 中文名：碳化矽單晶拋光片表面粗糙度的測試方法 
• 實施日期：2015-10-01
• 技術歸口：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
• 發布日期：2015-04-30
• 批准發布部門：工業和信息化部
• 標準號：SJ/T 11503-2015

起草單位

中國電子科技集團公司第四十六研究所、北京天科合達藍光半導體有限公司、工業和信息化部電子工業標準化研究院。

起草人

丁麗、何友琴、鄭紅軍等。