《矽諧振式壓力感測器的研究》是依託哈爾濱工業大學，由虞擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：矽諧振式壓力感測器的研究
- 依託單位：哈爾濱工業大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：虞
- 批准號：69376028
- 申請代碼：F0404
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1994-01-01 至 1995-12-31
- 支持經費：5（萬元）
項目摘要
諧振式感測器具有穩定性好，精度高、與微機接口方便等特點而倍受重視。我們採用微機械加工技術研製了微諧振器和諧振式壓力感測器。其特點是用單晶矽梁做諧振器、梁厚僅數微米，用靜電激勵。其振動頻率取決於器件設計、材料性能和梁的軸向應力，並受外界壓力調製。研究工作包括器件設計；激振與拾振技術；關鍵工藝包括矽健合，薄梁製備技術和封裝技術，並對樣品進行了分析測試 。研究表明，用兩端固支梁理論分析微諧振梁作為一階近似是可行的。單晶梁的工藝難度大，但工藝上仍可行。感測器固有頻率穩定；一般在一百千赫以上，空氣中品質因數達數百；靈敏度高，當壓力電O升到O·1MPa時，頻移達十幾千赫，是一種有前途的新型感測器。
