陳德勇(中國科學院電子學研究所研究員)

陳德勇,男,研究生畢業,中國科學院電子學研究所研究員。

.簡歷:
1989年畢業於清華大學現代套用物理系,1992年在中國科學院半導體研究所獲碩士學位,2002年在中國科學院電子學研究所獲博士學位。2003年作為高級訪問學者,赴英國盧瑟福實驗室開展與英國皇家協會的合作項目的研究工作。
研究領域:
微感測技術及微光機電系統(MOEMS)
承擔科研項目情況:
自1992年碩士研究生畢業後到中國科學院電子學研究所感測技術國家重點實驗室工作至今,一直從事MEMS微感測器的設計、製作、封裝及測試的研究工作。先後承擔國家重點基礎研究發展規劃項目973項目、自然科學重點基金項目和面上項目、863項目、中科院及所創新項目等課題的研究工作。作為課題負責人,先後負責微結構半導體熱偶型微波功率感測器、光定址電位感測器、微型矽諧振梁式壓力感測器、矽微氣流感測器、矽微加速度計及微機械陀螺等感測器及其系統的研究工作。研製出國內首隻高精度矽諧振梁壓力感測器的試樣器件。研製的抗高過載衝擊的微機械加速度計量程。
2000年榮獲中國科學院盈科優秀青年學者獎,歷年發表學術論文50餘篇,申請國家發明專利8項,其中5項已獲授權。

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