矽片表面平整度測量儀是一種用於材料科學、電子與通信技術領域的計量儀器，於2014年08月10日啟用。
基本介紹
- 中文名：矽片表面平整度測量儀
- 產地：美國
- 學科領域：材料科學、電子與通信技術
- 啟用日期：2014年08月10日
- 所屬類別：計量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
厚度範圍400-990μm精確度≤±0.5μmRES低阻測量範圍是0.001～0.999Ω·cm；高阻測量範圍是0.2～199.9Ω·cm精確度≤±2%平整度精確度≤±0.15μm型號準確無誤。
主要功能
測量矽片表面幾何參數，以及電阻率型號等厚度可測中心點，可測全表面2000餘點，出最大最小值平整度測量兩種測量方式，局部平整度測量4種方式，電阻率測量範圍為中心至邊緣（尺寸不同，距離邊緣距離有差別）。
