矽片表面顆粒檢測儀

矽片表面顆粒檢測儀是一種用於材料科學、電子與通信技術領域的物理性能測試儀器，於2016年10月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：矽片表面顆粒檢測儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2016年10月8日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 顆粒度測量儀器 > 粒度分布測量儀

技術指標

可測量矽片表面0.10~1.0微米顆粒顆粒捕捉率*95%@0.10um測試重複性*≤1.0%@1σ測試準確性缺陷顆粒數量的重複性

主要功能

可進行顆粒、劃道、拋光霧、COP、小丘、橘皮等表面不平整面缺陷測量，具備明場及暗場測試功能，可區分凹陷與突起的缺陷。