《矽拋光片表面顆粒測試方法(GB/T 19921-2005)》由中國有色金屬工業協會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：北京有色金屬研究總院。本標準主要起草人：孫燕、盧立延、董慧燕、劉紅艷、翟富義。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會負責解釋。本標準為首次發布。
基本介紹
- 書名：矽拋光片表面顆粒測試方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2006年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066126924
- 外文名：Test Method of Particles on Silicon Wafer Surfaces
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：7頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽拋光片表面顆粒測試方法(GB/T 19921-2005)》由中國標準出版社出版。
