《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》是對GB/T 4059—1983《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法》的修訂。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》修改採用了ASTM F 1723—1996《用懸浮區熔法晶體生長和光譜學方法評價多晶矽棒的標準》。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》自實施之日起，同時代替GB/T 4059—1983。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》由中國有色金屬工業協會提出。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》起草單位：峨眉半導體材料廠。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》主要起草人：羅莉萍、梁洪、覃銳兵、王炎、王向東。《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》所代替標準的歷次版本發布情況為：GB/T 4059—1983。
基本介紹
- 書名：矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2008年2月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066130534
- 外文名：Polycrystalline Silicon-Examination Method-Zone-melting on Phosphorus Under Controlled Atmosphere
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：4頁
- 開本：16
《矽多晶氣氛區熔基磷檢驗方法(GB/T 4059-2007)》由中國標準出版社出版。
