《矽多晶真空區熔基硼檢驗方法(GB/T 4060-2007)》是對國家標準GB/T 4060—1983，與其相比，主要變動如下：1、測雜質濃度範圍擴大為0.002×10－9～100×10－9；2、增加了“規範性引用檔案”、“術語”、“允許差”、“計算”；3、將原標準中的第5章“檢驗條件”修訂為“干擾因素”；4、將原標準中的取樣位置修訂為距多晶矽棒表面不低於5 mm，距多晶矽棒底部不低於50 mm；5、將原標準中的試樣尺寸範圍修訂為直徑15 mm～20 mm，長度為180 mm。
基本介紹
- 書名：矽多晶真空區熔基硼檢驗方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版社：中國標準出版社
- 出版時間：2008年2月1日
- 頁數：2 頁
- 開本：16 開
- ISBN：9785066130533
- 外文名：Polycrystalline Silicon-Examination Method-Vacuum Zone-melting on Boron
- 語種：簡體中文
內容簡介
《矽多晶真空區熔基硼檢驗方法(GB/T 4060-2007)》由中國標準出版社出版。
