《矽外延用三氯氫矽中其他氯矽烷含量的測定氣相色譜法》是2015年10月1日實施的行業標準。
基本介紹
- 中文名：矽外延用三氯氫矽中其他氯矽烷含量的測定氣相色譜法
- 標準號：YS/T 1060-2015
- 技術歸口：全國有色金屬標準化技術委員會
- 發布日期：2015-04-30
- 批准發布部門：工業和信息化部
- 實施日期：2015-10-01
適用範圍,起草單位,起草人,
適用範圍
本標準適用於矽外延用三氯氫矽中其他氯矽烷（包括二氯二氫矽、四氯化矽）含量的測定。測定下限為0.002%。
起草單位
中鍺科技有限公司、江蘇中能矽業科技發展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。
起草人
劉新軍、劉英傑、鄭華榮等。
