矽外延用三氯氫矽中總碳的測定氣相色譜法

《矽外延用三氯氫矽中總碳的測定氣相色譜法》是2015年10月1日實施的行業標準。

基本介紹

• 中文名：矽外延用三氯氫矽中總碳的測定氣相色譜法 
• 標準號：YS/T 1059-2015
• 技術歸口：全國有色金屬標準化技術委員會
• 發布日期：2015-04-30
• 批准發布部門：工業和信息化部
• 實施日期：2015-10-01

適用範圍

本標準適用於矽外延用三氯氫矽中總碳含量的測定，測定範圍為0.00005%～0.005%。

起草單位

中鍺科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江蘇中能矽業科技發展有限公司等。

起草人

劉英傑、鄭華榮、柯尊斌等。