矽基光電子器件及集成

《矽基光電子器件及集成》是依託復旦大學，由王迅擔任項目負責人的重點項目。

基本介紹

• 中文名：矽基光電子器件及集成
• 依託單位：復旦大學
• 項目類別：重點項目
• 項目負責人：王迅
• 負責人職稱：教授
• 申請代碼：F0403
• 研究期限：1997-01-01 至 2000-12-31
• 批准號：69636010
• 支持經費：125（萬元）

項目摘要

一、在國際上首次研製成功工作於1.3μm和1.55μm波段的五種矽基光電子器件，包括：反射型光波導開關，Mach-Zehnder型調製器，1×2多膜干涉型波分復用器。調製器與多量子阱探測器的單片集成，波長信號分離器與紅外探測器的單片集成。器件的大多數性能都優於國外同類型的非矽基光電子器件。而能夠容易地實現單片集成是其最大特點。二、首創了一種折涉率反轉型的矽基光波導，可以用矽器件工藝來實現。三、首次用分子束外延和電化學腐蝕結合的方法，製備一種摻Er多孔矽/多孔矽/矽三層量子結構，既能實現高效率的注入和激發，又能有效抑制能量背轉移退激發，在解決Er矽發光的溫度淬滅問題上，開闢了新的途徑。