《矽上異質外延單晶金剛石膜生長機理及磁阻效應的研究》是依託重慶大學，由方亮擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：矽上異質外延單晶金剛石膜生長機理及磁阻效應的研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：方亮
- 依託單位：重慶大學
- 支持經費：15（萬元）
- 研究期限：2000-01-01 至 2002-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：A2004
- 批准號：19904016
中文摘要
著重從理論上研究矽襯底上異質外延單晶金剛石薄膜的成核過程和生長機理；並探尋新的合成單晶金剛石的方法和生長條件；製備出高質量的硼摻雜金剛石膜；研究其磁阻效應，並設計製造高靈敏度、高可靠性、耐高溫、防輻射、抗化學腐蝕的金剛石磁阻敏感器件。結果結果在推動金剛石薄膜的製備與套用發展方面，有重要的理論意義和實用經濟價值。
