真空碳氮共滲

真空碳氮共滲工藝是指向真空爐內通人含有碳、復原子的介質，可實現真空碳氮共滲。共滲方式可為一段式、脈衝式、擺動式: 除介質不同外，工藝過程近似真空滲碳。

共滲溫度780~1040℃。為了減小工件變形及實現共滲後直接淬火，常使用的共滲溫度為780~860℃。

共滲介質可採用氨和丙烷或氨和甲烷的混合氣。氣體的比例：當使用甲烷與氨作為共滲介質時，其比為甲烷:氨1: 1；而丙烷: 氨則為0.25~0.5: 1; 氣體介質的壓力為(13~33) x 10³Pa。

由於真空的淨化作用，活化了工件表面，與常規氣體碳氮共滲相比較，真空碳氮共滲的滲速快，共滲層的質量優良。