《真空微電子學及其套用》是2002年東南大學出版社出版的圖書。該書可作為高等院電子信息技術、通信技術、微電子學及相關專業的高年級本科生教材，也可供從事真空微電子學研究與開發的專業技術人員參考。
基本介紹
- 書名：真空微電子學及其套用
- ISBN：9787810509152
- 頁數：151頁
- 出版社：東南大學出版社
- 出版時間：2002年4月1日
- 裝幀：平裝
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《真空微電子學及其套用》可作為高等院電子信息技術、通信技術、微電子學及相關專業的高年級本科生教材，也可供從事真空微電子學研究與開發的專業技術人員參考。真空微電子學是一門新興交叉學科，涉及到真空電子學、微電子學、薄膜技術和材料科學等多門學科和技術。
《真空微電子學及其套用》從真空微電子學的形成、發展歷史和最新動態出發，系統地介紹了真空微電子學的物理基礎，即場致發射理論和其他相關物理原理，詳細地討論了微細結構製造技術、真空微電子器件工作特性的數值模擬和器件結構設計，著重闡述了真空微電子學的套用及其對未來電子學發展的巨大影響。
圖書目錄
1 緒論
1.1 引言
1.2 真空微電子學的發展歷史
1.3 真空微電子學的特點和內容
1.4 真空微電子學的套用與發展趨勢
思考題與習題
參考文獻
2 場致發射
2.1 引言
2.2 表面電子特性
2.3 金屬場致發射
2.4 半導體場致發射
2.5 內場致發射
2.6 場致發射電子的能量分布和Nottingham效應
2.7 空間電荷效應
思考題與習題
參考文獻
3 器件物理與特性分析
3.1 引言
3.2 場致發射公式的特性
3.3 真空條件和FEA結構分析
3.4 FEA結構最佳化和理論極限
3.5 FEA熱穩定性和材料選擇
3.6 FEA陣列特性估算
思考題與習題
參考文獻
4 數值計算與器件特性模擬
4.1 引言
4.2 數值計算模型的建立
4.3 靜電場的數值模擬
4.4 電子軌跡及發射電流的計算
4.5 場致發射器件特性模擬
思考題與習題
參考文獻
5 器件製造與工藝
5.1 引言
5.2 縱向器件的製備
5.3 橫向器件的製備
5.4 器件封裝
5.5 器件製備中所涉及的重要工藝
思考題與習題
參考文獻
6 真空微電子器件
6.1 引言
6.2 真空積體電路有源元件
6.3 高頻和微波器件
6.4 電子源和微電子光學系統
6.5 場致發射顯示屏
6.6 感測技術
6.7 顯微技術
思考題與習題
參考文獻
