微電子學方法

微電子學方法指有關半導體器件、積體電路的研究、設計、製備及套用的方法。由於近半世紀以來半導體器件和積體電路的迅猛發展,使得電子電路的小型化和微型化得以實現,因而該領域內的各種科學內容得到了長足和系統的發展,形成了固體物理、器件設計與工藝、集成方法以及在各種場合廣泛套用的微電子學方法。

它的高度發展,致使信息處理的基本單元不斷微型化、廉價化。單片電路的集成度得以提高,每平方毫米矽片上可實現數以十萬、百萬元件的集成並加以合理的互連。一個性能十分複雜的電子系統的功能有可能在一個或數個面積僅為平方毫米量級的矽片上實現。該方法是現代電子計算機、現代控制技術和其他現代電子設備的最重要的實現手段,是一種十分重要的高科技方法。

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