真實色共聚焦顯微鏡

真實色共聚焦顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年03月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：真實色共聚焦顯微鏡
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年03月26日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

線解析度達到160 nm；儀器的高度方向掃描最小解析度為10 nm，最小可測高度20 nm，最大可測高度15mm。

主要功能

套用領域包括微電子（微納米）器件、半導體、印刷、造紙、紡織、刑偵、光學器件、機械製造、金屬材料研究、複合材料研究、高分子材料研究等，可測試的項目包括三維形貌、面（線）粗糙度、三維粗糙度、膜厚、顆粒分析。