《直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化》是2020年11月1日科學出版社出版的圖書。
基本介紹
- 中文名：直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化
- 作者：劉丁
- 出版時間：2020年11月1日
- 出版社：科學出版社
- 頁數：315 頁
- ISBN：9787030667069
- 定價：228 元
- 開本：16 開
- 裝幀：精裝
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化》是作者長期從事直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化研究的總結。《直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化》在概述矽單晶發展前景、主要生長設備及關鍵工藝的基礎上，介紹直拉矽單晶生長過程數值模擬方法、工藝流程與參數設定、熱系統設計與製造等方面的內容；從介觀層面闡述多物理場耦合作用對晶體生長的影響，並給出關鍵工藝參數選取方法；提出一系列結合變數檢測、智慧型最佳化及先進控制技術的矽單晶工藝研究理論和工程實現方法。《直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝最佳化》在理論和實驗兩方面均進行詳盡闡述並給出部分工程實驗結果，具有問題驅動、理論牽引、內容具體、結合實際、指導性強等特點。
圖書目錄
序一
序二
前言
第1章緒論
第2章CZ矽單晶生長工藝與設備
第3章矽單晶生長中的數值模擬
第4章CZ矽單晶生長工藝研究
第5章CZ矽單晶熱系統建模與設計
第6章格子Boltzmann方法與晶體生長模型
第7章多場耦合作用下的矽單晶生長
第8章矽單晶生長關鍵工藝參數最佳化
第9章晶體生長過程變數檢測與控制
展望
