《直拉矽單晶生長過程建模與控制》是2015年6月科學出版社出版的圖書，作者是劉丁。
基本介紹
- 中文名：直拉矽單晶生長過程建模與控制
- 作者：劉丁
- 出版時間：2015年06月
- 出版社：科學出版社
- ISBN：9787030433466
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書內容包括：緒論、矽單晶生長原理、直拉矽單晶生長設備、直拉矽單晶熱系統建模與設計實現、磁場環境下直拉矽單晶生長原理與實現、晶體生長過程關鍵變數的檢測與信息處理、晶體生長過程控制原理與方法、全自動單晶爐自動控制系統設計與實現。
圖書目錄
封面
直拉矽單晶生長過程建模與控制
內容簡介
序
前言
第1章 緒論
第2章 矽單晶生長原理
第3章 直拉矽單晶生長設備
第4章 直拉矽單晶熱系統建模與設計實現
第5章 磁場環境下直拉矽單晶生長原理與實現
第6章 晶體生長過程關鍵變數的檢測與信息處理
第7章 晶體生長過程控制原理與方法
第8章 全自動單晶爐自動控制系統設計與實現
封底
