環化光刻膠

基本介紹

• 中文名：環化光刻膠

環化光刻膠cy-clixed resi、又稱環化橡膠型光致抗蝕劑一系由環化大然橡膠、增感hll(或稱交聯劑，如對疊氮型化合物)、光敏劑，以適當溶3}I,<}L制而成。有較好的抗蝕性能，叮用於光刻多種金屬如鉻、翎、鋁、鎳一鉻以及矽、硫化鉛、銻化錮等，也可用於多種電路光刻工藝、積體電路以及紅外元件低溫光刻。