《現代高純氣體製取，分析與安全使用》是2015年6月由科學出版社出版的圖書，作者是尹恩華。
基本介紹
- 書名：現代高純氣體製取，分析與安全使用
- 作者：尹恩華
- ISBN：978-7-03-044967-2
- 頁數：344
- 定價：108.00
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2015年6月
- 裝幀：平裝
- 開本：B5
- 字數：400千字
內容簡介
本書目錄
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本書從高純氣體與積體電路等的關係說明氣體純度重要性。積體電路的製造包括成膜、刻蝕、摻雜和注入、平衡和清洗等，無不需要各種高純氣體。高純氣體的製取是本書的核心，在製取高純氣體方面，本書介紹國內外最新文獻，包括：吸附、精餾、離子液體、貯氫材料、鈀擴散、熔體合金、膜分離、吸雜劑、多級離心和製備色譜等新技術。除了氣相色譜是氣體分析的主體外，書中介紹最新光譜、質譜和納米技術在高純氣體中雜質分析的套用。考慮高純氣體絕大部分都是易燃易爆和劇毒氣體，使用的安全措施尤為重要，其內容還包括：容器、介質、感測器和廢氣的節能減排。
目錄
前言第一章高純氣體與電子學的關係1
第一節高純氣的分類和套用1
一？引言1
二？根據半導體工藝用氣的分類11
第二節氣體純度對半導體器件(光伏？光纖)的影響15
一？高純氣體在半導體中的具體套用分類15
二？氣體純度和雜質及其表示方法15
三？氣體中的雜質分類16
四？大規模積體電路對氣體純度的要求16
五？氣體中雜質對半導體器件(光伏？光纖？電光源)的影響17
參考文獻19
第二章氣體純化20
第一節吸附與吸附劑20
一？吸附分離20
二？吸附劑的物理性質22
三？吸附劑及其他純化材料和性能26
四？氣固表面吸附平衡35
五？吸附劑的具體套用41
六？分子篩的其他套用48
七？吸附樹脂50
第二節精餾51
一？蒸餾與精餾52
二？氣液相平衡及計算53
三？相平衡常數及計算54
四？簡單蒸餾56
五？精餾57
六？精餾塔60
第三節其他純化氣體方法62
一？膜分離技術62
二？催化劑65
三？吸雜劑66
四？熔體合金67
五？鈀合金擴散淨化67
六？貯氫材料68
七？離子液體69
第四節現代電子氣體的製造和純化70
一？新型的吸附(催化)劑70
二？周期表ⅠA族金屬吸附劑(scavener)72
三？電子用特氣的脫除痕量水72
四？超低發射(ultralowemision,ULE)碳75
五？終端低溫純化器77
六？各種電子氣的純化81
七？電化學製備砷烷氣體101
八？三氟化氮萃取精餾純化102
九？六氟化鎢的合成和純化105
十？六氟化鉬的製備和純化107
十一？六氟化硫的合成和純化108
十二？氯氣等鹵化物氣體純化111
十三？金屬烷基化合物的製備和純化112
十四？三甲基硼的特點及純化技術指標113
十五？多級離心分離技術套用於氣體純化114
十六？製備色譜115
