熱生長氧化物

熱生長氧化物

熱生長氧化物是2011年公布的材料科學技術名詞。

中文名稱熱生長氧化物
英文名稱thermally grown oxide
定  義對於矽片而言,利用乾氧、濕氧或水汽氧化工藝形成的二氧化矽薄膜。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),元素半導體材料(三級學科)

基本介紹

  • 中文名:熱生長氧化物
  • 外文名:thermally grown oxide
  • 所屬學科:材料科學技術 
  • 公布年度:2011年
定義,出處,

定義

對於矽片而言,利用乾氧、濕氧或水汽氧化工藝形成的二氧化矽薄膜。

出處

《材料科學技術名詞》。

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