| 中文名稱 | 熱激電流譜 |
| 英文名稱 | thermally stimulated current spectrum，TSCS |
| 定 義 | 低溫下利用光照射產生的電子 - 空穴對將深能級陷阱填滿，然後從不同升溫速率下結電流隨溫度變化的特性，探測半導體中深能級缺陷能級及其濃度的電學測量技術。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料性能測試（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：熱激電流譜
- 外文名：thermally stimulated current spectrum，TSCS
- 一級學科：材料科學技術
- 二級學科：半導體材料
- 定 義
- 低溫下利用光照射產生的電子-空穴對將深能級陷阱填滿，然後從不同升溫速率下結電流隨溫度變化的特性，探測半導體中深能級缺陷能級及其濃度的電學測量技術。
