量子化學方法可提供與CVD過程有關的熱力學和動力學數據,這些數據如果用其他方法會耗費很長時間,甚至可能無法獲得。這些數據可以成為進行CVD設備過程模擬的基礎。德國Siemens公司用ACCELRYS軟體研究SiGe異質外延結構的熱化學與動力學性質。
基本介紹
- 中文名:熱化學動力學
- 原料:脫羥與反應與煤
- 方法:Freeman-Carroll
- 屬性:化學反應
量子化學方法可提供與CVD過程有關的熱力學和動力學數據,這些數據如果用其他方法會耗費很長時間,甚至可能無法獲得。這些數據可以成為進行CVD設備過程模擬的基礎。德國Siemens公司用ACCELRYS軟體研究SiGe異質外延結構的熱化學與動力學性質。
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