熔結石英玻璃是二氧化矽單一組分的玻璃。這種玻璃硬度大可達莫氏七級,具有耐高溫、膨脹係數低、耐熱震性、化學穩定性和電絕緣性能良好,並能透過紫外線和紅外線。除氫氟酸、熱磷酸外,對一般酸有較好的耐酸性。
基本介紹
- 中文名:熔結石英玻璃
- 硬度:莫氏七級
- 特點:耐高溫、膨脹係數低
- 釋義:二氧化矽單一組分的玻璃
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分類
按透明度分為透明和不透明兩大類。按純度分為高純、普通和摻雜三類。用水晶,矽石,矽化物為原料,經高溫熔化或化學氣相沉積而成。熔制方法有電熔法、氣煉法等。
形成
是由於其熔體高溫黏度很高引起的結果。用於製作半導體、電光源器、半導通信裝置、雷射器,光學儀器,實驗室儀器、電學設備、醫療設備和耐高溫耐腐蝕的化學儀器、化工、電子、冶金、建材以及國防等工業,套用十分廣泛。
石英玻璃
隨著半導體技術的發展,石英玻璃被廣泛的用於半導體生產的各項工序中。比如,直拉法把多晶轉化成單晶矽;清洗時用的清洗槽;擴散時用的擴散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。
石英玻璃是一種只含二氧化矽單一成份的特種玻璃。由於種類、工藝、原料的不同,國外常常叫做矽酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國統稱石英玻璃,多按工藝方法、用途及外觀來分類,如電熔透明石英玻璃、連熔石英玻璃、氣煉透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光學石英玻璃、半導體用石英玻璃、電光源用石英玻璃等。人們習慣於用“石英”這樣一個簡單的辭彙來命名這種材料,這是絕對不妥的,因為“石英”是二氧化矽結晶態的一種通稱,它與玻璃態二氧化矽在理化性質上是有區別的。