無機化質譜儀

無機化質譜儀是以電感耦合高頻放電 (ICP)或其他的方式使被測物質離子化。無機化質譜儀主要用於無機元素微量分析和同位素分析等方面。分為火花源質譜儀、離子探針質譜儀、雷射探針質譜儀、輝光放電質譜儀、電感耦合電漿質譜儀。火花源質譜儀不僅可以進行固體樣品的整體分析，而且可以進行表面和逐層分析甚至液體分析。

雷射探針質譜儀可進行表面和縱深分析;輝光放電質譜儀解析度高，可進行高靈敏度，高精度分析，適用範圍包括元素周期表中絕大多數元素，分析速度快，便於進行固體分析;電感耦合電漿質譜，譜線簡單易認，靈敏度與測量精度很高。質譜分析法的特點是測試速度快，結果精確。廣泛用於地質學、礦物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。