無接觸體電阻率型號測試儀

無接觸體電阻率型號測試儀

無接觸式電阻率型號測試儀是基於渦流(Eddy Current)測試技術,能夠對矽料、矽棒、矽錠及矽片進行無接觸、無損傷的體電阻率測試。

基本介紹

  • 中文名:無接觸體電阻率型號測試儀
  • 頻率:50±3Hz
  • 功率消耗:≤5W
  • 尺寸:280x200x60mm
儀器特點,部分技術指標,

儀器特點

■①測試範圍廣,低阻可測至0.001ohm  cm,甚至0.0007ohm  cm,高阻可測至100ohm cm
■②產品體積小,便於移動和攜帶
■③採用渦流法測試矽錠、棒、回爐料體電阻率
■④無接觸、無損傷快速測試
■⑤測試前無需表面處理
■⑥特別對於多晶,能夠有效避免晶界對測試的影響
■⑦測試範圍:0.001-100 ohm cm (分段測試
■⑧可選加無接觸PN型號測試功能
⑨可進行溫度和厚度的修正

部分技術指標

矽棒矽塊可測量電阻率範圍:0.001-100Ohm cm
最小測試厚度:200μm
測量時間:2秒/次
最小測試面積:30x30 mm2
推薦使用溫度:20℃
濕度:≤80%
氣壓:86-106kPa
使用電壓:230±10V

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