潔淨氮氣真空烘箱

潔淨氮氣真空烘箱是能提供潔淨的真空環的烘箱

基本介紹

• 中文名：潔淨氮氣真空烘箱
• 又名：充氮真空烘箱
• 功能：能提供潔淨的真空環境
• 套用於：半導體、醫藥、科研等行業

名詞解釋

氮氣烘箱

潔淨氮氣真空烘箱（又名：充氮真空烘箱）；其能提供潔淨的真空環境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空無氧環境；被廣泛的套用於半導體、醫藥、科研等行業，可同時實現真空、潔淨、無氧和高溫的烘箱。

圖片

主要套用

一般用於材料及產品的應力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環境中，半導體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮氣聯動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級甚至更高的潔淨度可保護這些材料不被污染。

基本要求

潔淨度100級以上，真空度50KPar，可自動聯動開啟氮氣閥門，溫度：常溫→230℃，整體不鏽鋼材料，可程式PLC控制器，多級過溫保護系統。