溝道作用

溝道作用是帶電粒子入射到單晶中的一種特殊現象。當注入離子沿著基材的晶向注入時，則注入離子可能與晶格原子發生較少的碰撞而進入離表面較深的位置，這一現象稱為溝道效應。一團帶電粒子，或是帶有一定比例帶電粒子的氣體，會被稱為等離子。

當帶電粒子以小角度射入單晶中的一行行原子時，若粒子軌跡被限於原子的行和面之間，可使粒子射程比隨機方向射入時顯著增加，具有異常的穿透作用。可用於在矽和其他單晶中摻雜低能重離子，也用於分析晶體中的雜質原子。帶電粒子在物理學中是指帶有電荷的微粒。它可以是次原子粒子，也可以是離子。