《湘西(黔東)低溫礦床密集區的成礦地球化學研究》是依託南京大學，由劉英俊擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：湘西（黔東）低溫礦床密集區的成礦地球化學研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：劉英俊
- 依託單位：南京大學
- 批准號：49173171
- 申請代碼：D0311
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1992-01-01 至 1995-12-31
- 支持經費：9（萬元）
項目摘要
本項目的工作要是研究薄膜沉積過程中的相轉變。主要研究了立方氮化硼薄膜沉積中的相轉變，用兩種方法製備了立方氮化硼薄膜，第一種方法得到基板溫度與基板偏壓為軸的相圖，相圖中給出了六角相氮化硼、立方相氮化硼和混合相氮化硼生長的條件和範圍，指出了立方相氮化硼的生長條件為負偏壓是直流負壓180伏，溫度是490C（0）。第二種方法製備出內應力接近無應力的立方氮化硼，為消除普遍存在的內應力大、附著力差的問題找出了新路，給具有多種優異功能的高性能材料立方氮化硼的開發套用創造了條件。本工作還研究了氮化鋁和TiO2膜沉積過程中的相轉變，發現在納米（100nm）厚度範圍內能隙寬度的可調控制性，為製備理想隙寬的納米半導體材料提供了實際可行的途徑。
