《測量用掃描探針顯微鏡(MSPM)的研究》是依託天津大學，由胡小唐擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：測量用掃描探針顯微鏡(MSPM)的研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：胡小唐
- 依託單位：天津大學
- 批准號：59675082
- 申請代碼：E0511
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
- 支持經費：16（萬元）
項目摘要
測量型掃描探針顯微鏡在納米加工、納米材料學及生命科學領域有著廣泛套用前景。在本課題的研究工作中，從多方面對現有的掃描探針顯微鏡的測量誤差進行了理論和實驗分析，並提出了一些補償測量的方法及環境對策。對三維一體化柔性較鏈超微定位技術進了理論和實驗研究，提出並研製了一種結構新穎的三維一體化超微定位平台。對納米級實物基準的製備及評定方法進行了理論及實驗研究，研製出以金為基體的納米級台階實物基準。完成了測量型掃描探針顯微鏡的測量原理設計，並進行了初步的儀器結構設計。在學術期刊及會議上發表相關學術論文八篇。
